“氧化鎵制備的功率電子器件可承受更高電壓、更大電流，具備更低導(dǎo)通損耗，產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景廣闊，已成為全球競(jìng)相布局的戰(zhàn)略高地。”富加鎵業(yè)董事長(zhǎng)齊紅基在接受中國(guó)證券報(bào)記者專訪時(shí)表示，公司正借助杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所（簡(jiǎn)稱“杭州光機(jī)所”）科創(chuàng)孵化平臺(tái)，加快氧化鎵單晶及外延片的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

　　眼下，以人工智能為代表的新一輪科技革命正加速演進(jìn)，推動(dòng)科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)變革深度融合，成為搶占全球產(chǎn)業(yè)高地的關(guān)鍵。富加鎵業(yè)是典型的科技成果轉(zhuǎn)化案例，齊紅基表示，要推動(dòng)企業(yè)跨越科技成果轉(zhuǎn)化的“死亡之谷”，打通科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)化通道，打造具有培育能力的孵化平臺(tái)。

　　氧化鎵制備的功率電子器件可以承受更高的電壓、更大的電流，具備更低的導(dǎo)通損耗，被稱為第四代半導(dǎo)體材料。基于這些優(yōu)良特性以及和單晶硅類似的高效制備方法，氧化鎵已成為全球競(jìng)相布局的戰(zhàn)略高地。”

　　當(dāng)前，新一輪科技革命加速演進(jìn)，推動(dòng)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)變革融合發(fā)展，成為搶占全球產(chǎn)業(yè)高地的關(guān)鍵。富加鎵業(yè)本身就是一個(gè)科技成果轉(zhuǎn)化的典型案例。“我們是國(guó)內(nèi)最早開(kāi)展氧化鎵材料研發(fā)的團(tuán)隊(duì)之一，2004年至今已有20多個(gè)年頭，在單晶材料制備方面有一定技術(shù)優(yōu)勢(shì)。”齊紅基表示。

　　“在實(shí)驗(yàn)室里，科研人員追求的是不斷提升材料性能。但對(duì)于創(chuàng)業(yè)者而言，有更高的綜合要求，必須考慮材料的產(chǎn)業(yè)前景、批量制備成本，這首先在觀念上就是一個(gè)巨大的轉(zhuǎn)變。”齊紅基表示，要跨過(guò)創(chuàng)新和創(chuàng)業(yè)之間的鴻溝，一個(gè)有培育能力的孵化平臺(tái)至關(guān)重要，而富加鎵業(yè)的科技成果轉(zhuǎn)化就是在杭州光機(jī)所專業(yè)孵化器上進(jìn)行的。

“這是我們從上海光機(jī)所轉(zhuǎn)移過(guò)來(lái)的2英寸氧化鎵單晶，很薄，只能切2-3片晶片。而這塊是我們開(kāi)發(fā)的4英寸的氧化鎵單晶，厚度達(dá)到12mm，可以切8-10片4英寸晶片，產(chǎn)出效率高，成本大大降低?，F(xiàn)在，我們已經(jīng)能生產(chǎn)6英寸的氧化鎵單晶襯底。”齊紅基告訴記者，富加鎵業(yè)持續(xù)加快氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。“目前，我們專注于氧化鎵單晶襯底及外延片，已具備明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。在器件與模塊環(huán)節(jié)，我們與合作伙伴一起開(kāi)展工作，加速推進(jìn)氧化鎵全鏈路產(chǎn)業(yè)化。”

　　齊紅基介紹，氧化鎵產(chǎn)業(yè)化的重點(diǎn)是單晶襯底產(chǎn)業(yè)化。在這方面，富加鎵業(yè)依靠技術(shù)優(yōu)勢(shì)和前瞻布局，已實(shí)現(xiàn)多個(gè)行業(yè)“率先”：率先實(shí)現(xiàn)6英寸厚單晶襯底制備，達(dá)到了半導(dǎo)體器件工藝線產(chǎn)業(yè)化門檻；超前布局人工智能領(lǐng)域，率先推出EFG“一鍵長(zhǎng)晶”裝備，解決了氧化鎵材料產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中的裝備障礙問(wèn)題，為單晶產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)；采用更適合產(chǎn)業(yè)化的MOCVD及MBE技術(shù)制備外延薄膜，率先獲得行業(yè)合作伙伴器件性能驗(yàn)證。

　　值得一提的是，2024年9月，富加鎵業(yè)打造的國(guó)內(nèi)首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長(zhǎng)線在杭州富陽(yáng)開(kāi)工建設(shè)，預(yù)計(jì)2025年投入使用。未來(lái)，富加鎵業(yè)將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)萬(wàn)片的生產(chǎn)規(guī)模，為下游客戶提供高質(zhì)量單晶及外延片，進(jìn)一步加速該領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程?，F(xiàn)階段已實(shí)現(xiàn)‘一鍵長(zhǎng)晶’，‘智能化長(zhǎng)晶’正在數(shù)據(jù)采集及模型訓(xùn)練中，相信不久的將來(lái)會(huì)投入到實(shí)際應(yīng)用中。另外，量子計(jì)算技術(shù)帶來(lái)算力提升，可以在模擬仿真、數(shù)字孿生、大數(shù)據(jù)處理、材料體系設(shè)計(jì)等方面極大加速半導(dǎo)體材料的發(fā)展。”

　　為了推進(jìn)氧化鎵的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，實(shí)現(xiàn)商業(yè)化應(yīng)用落地，“還需要進(jìn)一步降低氧化鎵的材料制備成本，以提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。未來(lái)，在開(kāi)展研發(fā)的同時(shí)，我們會(huì)全鏈路推進(jìn)工程化技術(shù)的開(kāi)發(fā)，進(jìn)一步提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性，降低生產(chǎn)成本，擴(kuò)大競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。”

原標(biāo)題：錨定產(chǎn)業(yè)化 搶抓氧化鎵材料發(fā)展機(jī)遇
作者：任明杰 鄭萃穎
責(zé)任編輯：王婉瑩
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